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平面抛光机的主要目的是改善抛光速率,因此可以减少磨削过程中产生的损伤层。如果速率非常高,也会使抛光损伤层不会造成错误的组织,不会影响观察到的材料组织。如果是使用粗磨,可以起到去除磨削损伤层的影响,也有负面影响。
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